不同洁净室无尘车间工程建设的要求
1:精密机械和精细化工产品生产的洁净室工程
随着科学技术的发展,许多工业产品的生产加工对生产环境的无尘车间工程中含尘浓度提出极高的要求,这就需要其生产环境中具有一定的空气洁净等级和生产过程所需各类相关物质的供应质量。
2:半导体、集成电路生产的洁净室工程
半导体材料提纯作为发展半导体器件的重要基础。由于大规模和超大规模集成电路的工艺要求,为得到高纯度的硅材料,原料和中间媒介的高纯度和高精度恒温恒湿工程生产环境的洁净度成为影响产品质量的一个突出问题。
集成电路芯片的成品率与芯片的缺陷密度有关,而芯片的缺陷密度与空气中粒子个数有关。因此,集成电路的高速发展,不仅对空气中粒子的尺寸有极高的要求,而且也需进一步粒子数;同时,对于超大规模集成电路生产环境中无尘车间工程的化学污染也有相关的要求。
3:化妆品、食品生产的洁净室
现代化妆品中大多含有蛋白质、维生素、氨基酸、植物萃取液等,这些组分为霉菌的滋生、繁殖提供了有利条件。因此,微生物的污染是影响化妆品质量的重要因素。化妆品生产过程中使用的洁净室工程的对象主要是尘粒,与食品生产用的洁净室要求类似。